中國科學(xué)院沈陽科學(xué)儀器股份有限公司創(chuàng)立于1958年。公司以創(chuàng)新為理念，經(jīng)過半個(gè)世紀(jì)的發(fā)展，以真空技術(shù)為基礎(chǔ)，面向高端科研儀器、半導(dǎo)體、太陽能、LED等高科技、新材料、新能源領(lǐng)域，以裝備制造為主業(yè)，成為集研發(fā)、生產(chǎn)、銷售、服務(wù)為一體的現(xiàn)代企業(yè)。沈陽科儀具備先進(jìn)的加工設(shè)備和檢測(cè)手段。擁有7000平方米的潔凈裝調(diào)間和特種工藝清洗線;擁有數(shù)控加工中心、數(shù)控銑床、立式加工中心等先進(jìn)的各類加工制造設(shè)備100余臺(tái);擁有三坐標(biāo)測(cè)量儀、臥式平衡儀、振動(dòng)/噪聲測(cè)試實(shí)驗(yàn)臺(tái)、氦質(zhì)譜檢漏儀等國際先進(jìn)水平的大型檢測(cè)試驗(yàn)儀器設(shè)備50余臺(tái)。主要產(chǎn)品:一、高端產(chǎn)業(yè)真空應(yīng)用設(shè)備。晶體制備設(shè)備:藍(lán)寶石晶體爐、碳化硅晶體爐、硅/鍺單晶爐設(shè)備等;薄膜制備設(shè)備:電子束蒸發(fā)、磁控濺射、硬碳膜設(shè)備等;二、科研類真空應(yīng)用設(shè)備:各種PVD、CVD薄膜制備設(shè)備，真空冶金設(shè)備等;三、干式真空獲得設(shè)備:系列干式真空泵機(jī)組、渦旋干泵、螺桿泵、離子泵、超高真空插板閥，及真空部件等。