紫外全固態(tài)激光源是指輸出波長(zhǎng)在200納米以下的固體激光器,與同步輻射和氣體放電光源等現(xiàn)有光源相比,具有高的光子流通量/密度、好的方向性和相干性。長(zhǎng)期以來,深紫外波段(波長(zhǎng)小于200納米)一直缺乏實(shí)用化、精密化激光源,制約了深紫外波段科學(xué)儀器和前沿研究的發(fā)展。
我國(guó)科學(xué)家自上世紀(jì)90年代初開始研究深紫外非線性光學(xué)晶體和激光技術(shù),經(jīng)過20多年努力,日前在國(guó)際上首次生長(zhǎng)出可直接倍頻產(chǎn)生深紫外激光非GZMQ1208TXQ線性光學(xué)晶體,并發(fā)明棱鏡耦合技術(shù),率先發(fā)展出實(shí)用化的深紫外固態(tài)激光源,使中國(guó)成為當(dāng)今世界上唯一掌握深紫外全固態(tài)激光技術(shù)的國(guó)家。GZMQ1208TXQ
此后,我國(guó)科學(xué)家再接再厲,利用獨(dú)創(chuàng)、獨(dú)有的深紫外技術(shù)和深紫外激光非線性光學(xué)晶體,已成功研制出深紫外激光拉曼光譜儀、深紫外激光發(fā)射電子顯微鏡8臺(tái)深紫外固態(tài)激GZMQ1208TXQ光源前沿裝備,均為當(dāng)今世界獨(dú)有的科研利器,居深紫外領(lǐng)域國(guó)際領(lǐng)先地位,在物理、化學(xué)、材料、信息、生命、資環(huán)、地質(zhì)等學(xué)科領(lǐng)域均有重大的應(yīng)用價(jià)值。
深紫外激光源對(duì)于現(xiàn)代科技發(fā)展非常重要,例如,193納米光刻技術(shù)所需光源,納米微加工技術(shù),原子、離子的激光冷卻技術(shù),以及各種現(xiàn)代化儀器所需GZMQ1208TXQ的深紫外激光源等。