儀器介紹
CMI900X射線熒光鍍層測(cè)厚儀，有著非破壞，非接觸，多層合金測(cè)量，高生產(chǎn)力，高再現(xiàn)性等優(yōu)點(diǎn)，在質(zhì)量管理到不良品分析有著廣泛的應(yīng)用。用于電子元器件，半導(dǎo)體，PCB，汽車(chē)零部件，功能性電鍍，裝飾件，連接器等多個(gè)行業(yè)。
主要特點(diǎn)
樣品種類(lèi)：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)
可檢測(cè)元素范圍：Ti22 – U92
可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素
精度高、穩(wěn)定性好
強(qiáng)大的數(shù)據(jù)統(tǒng)計(jì)、處理功能
測(cè)量范圍寬
NIST認(rèn)證的標(biāo)準(zhǔn)片
全球服務(wù)及支持
技術(shù)參數(shù)
主要規(guī)格 規(guī)格描述
X射線激發(fā)系統(tǒng) 垂直上照式X射線光學(xué)系統(tǒng)
空冷式微聚焦型X射線管，Be窗
標(biāo)準(zhǔn)靶材：Rh靶；任選靶材：W、Mo、Ag等
功率：50W(4-50kV，0-1.0mA)－標(biāo)準(zhǔn) 75W(4-50kV，0-1.5mA)－任選
裝備有安全防射線光閘
二次X射線濾光片：3個(gè)位置程控交換，多種材質(zhì)、多種厚度的二次濾光片任選
準(zhǔn)直器程控交換系統(tǒng) 最多可同時(shí)裝配6種規(guī)格的準(zhǔn)直器
多種規(guī)格尺寸準(zhǔn)直器任選： －圓形，如4、6、8、12、20 mil等 －矩形，如1x2、2x2、0.5x10、1x10、2x10、4x16等
測(cè)量斑點(diǎn)尺寸 在12.7mm聚焦距離時(shí)，最小測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.078 x 0.055 mm(使用0.025 x 0.05 mm準(zhǔn)直器)
在12.7mm聚焦距離時(shí)，最大測(cè)量斑點(diǎn)尺寸為：0.38 x 0.42 mm(使用0.3mm準(zhǔn)直器)
樣品室 CMI900 CMI950
－樣品室結(jié)構(gòu) 開(kāi)槽式樣品室 開(kāi)閉式樣品室
－最大樣品臺(tái)尺寸 610mm x 610mm 300mm x 300mm
－XY軸程控移動(dòng)范圍 標(biāo)準(zhǔn)：152.4 x 177.8mm 還有5種規(guī)格任選 300mm x 300mm
－Z軸程控移動(dòng)高度 43.18mm XYZ程控時(shí)，152.4mm XY軸手動(dòng)時(shí)，269.2mm
－XYZ三軸控制方式 多種控制方式任選：XYZ三軸程序控制、XY軸手動(dòng)控制和Z軸程序控制、XYZ三軸手動(dòng)控制
－樣品觀察系統(tǒng) 高分辨彩色CCD觀察系統(tǒng)，標(biāo)準(zhǔn)放大倍數(shù)為30倍。50倍和100倍觀察系統(tǒng)任選。
激光自動(dòng)對(duì)焦功能
可變焦距控制功能和固定焦距控制功能
計(jì)算機(jī)系統(tǒng)配置 IBM計(jì)算機(jī) 惠普或愛(ài)普生彩色噴墨打印機(jī)
分析應(yīng)用軟件 操作系統(tǒng)：Windows2000中文平臺(tái) 分析軟件包：SmartLink FP軟件包
－測(cè)厚范圍 可測(cè)定厚度范圍：取決于您的具體應(yīng)用。
－基本分析功能 采用基本參數(shù)法校正。牛津儀器將根據(jù)您的應(yīng)用提供必要的校正用標(biāo)準(zhǔn)樣品。
樣品種類(lèi)：鍍層、涂層、薄膜、液體(鍍液中的元素含量)
可檢測(cè)元素范圍：Ti22 – U92
可同時(shí)測(cè)定5層/15種元素/共存元素校正
貴金屬檢測(cè)，如Au karat評(píng)價(jià)
材料和合金元素分析，
材料鑒別和分類(lèi)檢測(cè)
液體樣品分析，如鍍液中的金屬元素含量
多達(dá)4個(gè)樣品的光譜同時(shí)顯示和比較
元素光譜定性分析
－調(diào)整和校正功能 系統(tǒng)自動(dòng)調(diào)整和校正功能，自動(dòng)消除系統(tǒng)漂移